Deep Ultraviolet

释义 Definition

Deep ultraviolet（深紫外，常缩写为 DUV）：指波长更短的紫外光谱段，通常约在200–300 nm（不同领域划分略有差异）。常用于光刻（芯片制造）、消毒杀菌、材料表征与光化学等场景。也可与“far ultraviolet（远紫外）”“vacuum ultraviolet（真空紫外）”等概念并列使用。

发音 Pronunciation (IPA)

/ˌdiːp ˌʌltrəˈvaɪələt/

例句 Examples

Deep ultraviolet light can damage human skin and eyes.
深紫外光可能损伤人的皮肤和眼睛。

Deep ultraviolet lithography enabled finer semiconductor patterns by using shorter-wavelength light to improve resolution.
深紫外光刻通过使用更短波长的光提高分辨率，从而实现更精细的半导体图形。

词源 Etymology

ultraviolet 由 ultra-（“超出、在……之外”）+ violet（“紫罗兰色/紫色”）构成，意为“超出紫色可见光范围之外的光”。deep 在这里表示“更深、更往里”，引申为“更短波长、更高能量的紫外段”，因此 deep ultraviolet 指“更靠近高能端的紫外光”。

相关词 Related Words

• Ultraviolet
• Far Ultraviolet
• Vacuum Ultraviolet
• Photolithography
• Excimer Laser
• Wavelength
• Photon
• Sterilization

文学与经典作品 Literary Works

• 《Principles of Optics》（Born & Wolf）：在光学与光谱章节中讨论紫外波段及其应用背景，相关内容常涉及深紫外范围的光学特性与实验条件。
• 《Introduction to Solid State Physics》（Kittel）：在固体光学与材料相互作用相关内容中，常与紫外（含深紫外）能量尺度与吸收现象一起出现。
• 《Semiconductor Physics and Devices》（Donald A. Neamen）：在半导体工艺与光刻/曝光相关叙述中，常提及深紫外光作为提高分辨率的重要光源类别。